경북도, '반도체 핵심 소모품' 기술 자립화 시동…국비 150억 확보 및 총 400억 투입
경상북도가 산업통상자원부 주관 '반도체 챔버용 소재·부품 제조 및 검증 테스트베드 구축' 공모사업에 최종 선정되며 국비 150억 원을 확보했다. 이로써 경북도는 총사업비 400억 원을 투입, 미·일 등 해외 의존도가 90% 이상에 달하던 반도체 핵심 부품의 국산화와 기술 자립화를 전폭 지원하며 'K-반도체 밸류체인'의 핵심 거점으로 도약할 발판을 마련했다. 반도체 챔버 핵심부품이란 반도체 챔버(제조 장비 내부) 내에서 웨이퍼를 고정(정전척)하거나 플라즈마를 제어(포커스 링)하고 극한 공정 환경으로부터 장비를 보호(라이너)하는 핵심 소모품을 말하는데, 이 사업은 2nm급 이하 초미세 반도체 공정 도입에 따라 극저온·수소 플라즈마 등 극한 환경을 견딜 수 있는 고부가 챔버 부품 수요가 증가하자 미국·일본 등 특정 국가 의존도가 높은 핵심 부품의 기술 자립화를 위해 추진된다. 그동안 국내 중소·중견기업들은 반도체 핵심 부품 개발 때 고가의 준양산급 장비 부족으로 시제품 제작과 성능 검증에 어려움을 겪어 왔다. 경북도는 이번 테스트베드 구축으로 독자적으로 구축하기 어려운 장비구축과 기술 지원 체계를 마련해 개발 과정의 시행착오를 줄이고 상용화 기간도 단축한다는 방침이다. 현재 챔버용 3대 핵심 부품(정전척, 링, 라이너)은 대외 의존도가 90%를 웃돌고 있다. 도는 이 사업으로 개발 기간은 기존 5년 이상에서 3년 이내로 40% 이상 줄이고 개발 비용도 50% 이상 절감해 수입 대체 효과를 높일 계획이다. 경북도와 구미시는 이달부터 5년간 총사업비 400억원(국비 150, 도비 75, 시비 175억원)을 투입해 구미국가1산업단지 내(구미시 공단동 방림부지) 반도체 챔버용 소재·부품 테스트베드를 조성하고 지역의 소재 부품 제조 기술과 수도권의 칩 양산을 잇는 'K-반도체 밸류체인'을 완성할 방침이다. 주관기관인 한국세라믹기술원은 연면적 3000㎡(클린룸 500㎡ 포함)의 반도체 챔버용 기술지원센터를 구축해 시제품 제조공정 지원, 제조공정 분석 평가 기술 지원을 위한 36종의 장비를 구축한다. 공동 참여기관인 한국산업기술시험원, 구미전자정보기술원, 한국반도체산업협회 등이 지원한다. 양금희 경북도 경제부지사는 "이번 국비 확보는 경북이 대한민국 반도체 소재·부품의 중심지임을 다시 한번 입증한 쾌거"라며 "구미 반도체 특화단지를 중심으로 초격차 기술 경쟁력을 확보해 글로벌 반도체 공급망을 주도해 나가겠다"고 밝혔다. 안동(경북) 김준환 기자
