경북도가 산업통상자원부 주관 '반도체 챔버용 소재·부품 제조 및 검증 테스트베드 구축' 공모사업에 최종 선정돼 국비 150억원을 확보했다.

이번 사업은 2nm급 이하 초미세 반도체 공정 도입에 따라 극저온·수소 플라즈마 등 극한 환경을 견딜 수 있는 고부가 반도체 챔버 부품 수요가 증가하는 상황에서 미국·일본 등 특정 국가 의존도가 높은 핵심 부품의 기술 자립화를 위해 추진된다.

그동안 국내 중소·중견기업들은 고가의 준양산급 장비 부족으로 반도체 핵심 부품 시제품 제작과 성능 검증에 어려움을 겪어 왔다.

경북도는 이번 테스트베드 구축으로 독자 구축이 어려운 장비와 기술 지원 체계를 마련해 개발 과정의 시행착오를 줄이고 상용화 기간도 단축할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

현재 챔버용 핵심 부품인 정전척과 포커스 링, 라이너는 대외 의존도가 90%를 넘고 있다. 경북도는 이번 사업을 통해 개발 기간을 기존 5년 이상에서 3년 이내로 단축하고 개발 비용도 50% 이상 절감해 수입 대체 효과를 높일 계획이다.

사업은 올해 5월부터 5년간 총사업비 400억원을 투입해 구미국가1산업단지 내 방림부지에 반도체 챔버용 소재·부품 테스트베드를 구축하는 내용이다. 사업비는 국비 150억원, 도비 75억원, 시비 175억원으로 구성된다.

주요 사업 내용은 ▲반도체 챔버용 소재·부품 기술지원센터 구축 ▲핵심 소재·부품 제조·검증 장비 44종 구축 ▲시제품 제작 및 시험분석 평가 지원 ▲수요·공급기업 네트워크 활성화와 기업 지원 등이다.

이를 통해 지역의 소재·부품 제조 기술과 수도권의 칩 양산을 연결하는 'K-반도체 밸류체인'을 구축한다는 방침이다.

주관기관인 한국세라믹기술원은 연면적 3000㎡ 규모의 기술지원센터를 구축하고 클린룸 500㎡를 포함한 시제품 제조공정과 분석 평가 지원 장비 36종을 마련한다.

공동 참여기관인 한국산업기술시험원은 신뢰성 평가와 검증 시스템 구축을 위한 장비 8종을 도입하고, 구미전자정보기술원은 장비 예약과 공동 연구개발 발굴 등 맞춤형 이용 가이드와 컨설팅을 지원한다.

또 한국반도체산업협회는 반도체 전시회와 기술 시연회를 통해 수요·공급 기업 간 협력과 홍보를 지원할 예정이다.

양금희 경북도 경제부지사는 "이번 국비 확보는 경북이 대한민국 반도체 소재·부품 중심지임을 다시 한번 입증한 성과"라며 "구미 반도체 특화단지를 중심으로 초격차 기술 경쟁력을 확보해 글로벌 반도체 공급망을 주도해 나가겠다"고 말했다.