LGD, 세계 최초로 초음파 플로팅 코터 개발

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[메트로신문 임은정 기자] LG디스플레이(대표이사 사장 한상범)는 세계 최초로 초음파를 적용한 디스플레이 장비인 초음파 플로팅 코터를 개발하는 데 성공했다고 8일 밝혔다.

사측에 따르면 플로팅 코터는 디스플레이 제조를 위한 TFT, Color Filter 공정에서 마스크에 패턴을 형성하는 사진식각 과정을 위해 초음파를 적용해 기판을 부상 반송하며 코팅하는 장비다.

이번에 개발된 초음파 플로팅 코터는 일정한 진폭과 주파수를 가진 진동 에너지로 미세한 간격을 유지하며 부상 반송하는 원리로 작동된다. 단순한 장비 구조로 유지/보수가 용이한 것은 물론 박형 기판을 보다 안전하게 부상할 수 있다는 장점이 있다.

특히 그동안 전량 수입에 의존해 왔던 에어 플로팅 코터를 대신해 초음파 플로팅 코터를 8세대 제조 공정에 도입할 경우, 37%의 비용 절감과 77%의 에너지 절감 효과를 거둘 것으로 기대된다고 사측은 전했다.

LG디스플레이는 지난 2013년 신기술장비공모제도를 통해 협력사인 케이씨텍의 개발 제안을 접수하고, 양사 공동으로 약 1년 6개월의 연구 개발과 이후 6개월의 공정과 성능 평가 등을 거치며 양산성을 확보했다. 하반기에는 '초음파 플로팅 코터'를 도입해 LCD 생산 경쟁력을 증진할 예정이다.

정철동 LG디스플레이 생산최고책임자(부사장)는 "LG디스플레이는 국내 협력사들과 LCD의 장비 및 부품 국산화를 위한 공동기술 개발에 노력해 왔으며, 이번에도 세계 최초로 '초음파 플로팅 코터' 장비를 개발하는 성과를 이뤄냈다"며 "앞으로 협력사와의 상생을 통해 디스플레이 업계 경쟁력 확보에 더욱 노력하겠다"고 밝혔다.