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하나머티리얼즈, 시스템반도체향 대구경 부품 소재 국산화 나서

/하나머티리얼즈



하나머티리얼즈가 시스템반도체향 고밀도 플라스마 장비부품용 대구경 실리콘 소재를 국산화한다.

반도체 부품·소재 전문기업 하나머티리얼즈는 한국산업기술진흥원이 주관하는 대구경 실리콘 소재개발 국책 사업 과제의 총괄 주관기관으로 선정됐다고 3일 밝혔다. 하나머티리얼즈는 소재개발 최적화 시뮬레이션에 대한 높은 기술을 보유한 러시아의 소프트임팩트(Soft-Impact)사와 협약을 맺고 '시스템반도체향 고밀도 플라스마 장비부품용 대구경 단결정 실리콘 소재개발' 과제 수행에 본격 착수했다.

하나머티리얼즈와 소프트임팩트는 오는 2021년 9월까지 1·2차 과제를 수행한다. 이번 과제에서 하나머티리얼즈는 대구경 단결정 실리콘의 양산 및 사업화를, 소프트임팩트는 최적화된 성장 시뮬레이션을 담당한다.

이번 국책과제로 하나머티리얼즈는 기존의 세라믹 코팅 방식을 사용한 부품을 단결정 실리콘 소재 부품으로 대체해 공정 수율을 향상할 기술을 개발한다. 하나머티리얼즈는 이를 바탕으로 시스템반도체 공정의 고수율을 달성할 수 있는 부품 제조 원천기술을 확보할 계획이다.

하나머티리얼즈는 이번 국책과제를 통해 현재 전량 수입하고 있는 대형 부품을 국산 제품으로 대체하는 것을 목표로 한다. 하나머티리얼즈는 소재 국산화를 통해 수입 의존도를 낮추고 원가 경쟁력을 강화해 해외 점유율 또한 높일 계획이다.

오경석 하나머티리얼즈 대표이사는 "하나머티리얼즈는 지난 2008년에도 3차년에 걸쳐 대구경 잉곳 성장 국책과제 주관기업으로 선정되어 세계 최대 단결정 실리콘 잉곳을 성장시키며 독보적인 기술력을 인정받아 국내 최고의 실리콘 소재부품회사로 성장하였는데, 이번 국제공동기술개발사업을 통해 시스템반도체용 Si-Parts 부품의 국산화를 선도하는 것은 물론, 대구경 단결정 실리콘 잉곳을 활용해 사업영역을 확대함으로써 실적 성장을 견인할 수 있도록 노력하겠다"고 했다.
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