"2011년에 하나머티리얼즈가 세계 최초로 520㎜ 외경의 대구경 잉곳을 만들었습니다."

충남 천안시에 위치한 반도체 공정용 부품 기업 하나머티리얼즈 백석 공장에서 최왕기 부품사업부장은 자랑스럽게 말했다. 잉곳은 실리콘 부품(Si Parts)의 원재료다. 은색으로 빛나는 실리콘 잉곳을 미사일 모양으로 굵게 뽑아내면 뽑아낼수록 기술력이 좋다는 의미다. 통상 4일 정도 실리콘 소재를 배양하면 1개의 잉곳이 완성된다. 이 잉곳 기둥을 잘라 반도체 부품에 사용되는 링(Ring)과 일렉트로드(Electrode)를 만든다.



일렉트로드는 식각 챔버 내에 설치, 미세구멍 사이로 가스를 통과시켜 웨이퍼 표면에 플라스마가 균일하게 분사되도록 하는 역할을, 링은 웨이퍼 주변에 장착되어 플라스마 밀도가 균일, 정확하게 유지되도록 하는 역할을 한다.



하나머티리얼즈가 만드는 부품은 소모품으로 통상 200~300시간 사용하면 교체해야 한다. 평균 열흘에 하나씩 바꾸는 것이다.

오경석 하나머티리얼즈 대표이사는 "우리 회사 제품은 소모품이어서 지속적으로 쓰게 된다"며 "반도체 가동률이 유지되면 계속 사용하기 때문에 수요는 계속 있다"고 설명했다.

지난해 12월부터 가동을 시작한 소재 배양동 3층 창을 통해 잉곳을 키우는 기계가 돌아가는 것을 확인했다. 1420도에서 성장하는 잉곳 결정이기에 높은 온도를 컨트롤 하는 것이 중요하다.

지난 22일 방문한 국내 반도체 공정용 부품 시장점유율 1위 하나머티리얼즈 본사. 2017년 4월 코스닥 시장에 진입한 하나머티리얼즈는 고도화된 반도체 공정이 점점 더 미세화 됨에 따라 소모가 심해진 식각(Etching) 공정의 소모품을 만드는 회사다.



반도체 시장 내 반도체 부품 수요가 늘면서 하나머티리얼즈의 실적은 상승곡선을 그렸다. 매출액이 지난 2016년 613억원에서 2017년 1029억원으로 두 배 가까이 늘었다. 2018년 3분기까지 누적 매출이 1219억원으로 지난해 전체 실적을 뛰어 넘었다.

하나머티리얼즈는 일본의 반도체 장비 기업인 도쿄일렉트론과 오랜 협업 관계를 이어오고 있다. 도쿄일렉트론은 지난 2011년 하나머티리얼즈에 처음 투자한 이후 지난해 12월 50억원을 추가 투자했다. 도쿄일렉트론이 생산하는 반도체 장비 중 한국 기업인 삼성전자와 SK하이닉스에 들어가는 부품은 일렉트로드와 링 모두 하나머티리얼즈에서 생산한다.

그뿐만 아니라 신소재 실리콘 카바이드(SIC)로 좀 더 교체주기가 긴 제품을 만들기 위해 준비 중이다. SIC 제품은 가격은 기존 제품보다 약 3배 비싸지만, 소모 기간이 길어 주목받고 있다.

하나머티리얼즈 관계자는 "SIC는 올 하반기부터 매출이 가시화해 내년 하반기부터 판매가 이뤄진다"고 밝혔다.



이날 하나머티리얼즈 아산사업장 준공식도 열렸다. 실리콘 부품 생산량(CAPA)을 2배로 확장하고 신소재인 SIC 생산 능력을 갖추기 위해서다. 오경석 대표는 "주요 거래처의 주문 물량 증가에 대응하고, 신규 고객사 발굴에 따라 발생하는 추가 수요 물량에 대응하기 위해서 사업장을 증설했다"고 했다. 아산사업장 내 설비는 내후년까지 채워질 예정이다.